DEPS 마이크로사이트

장비상세정보

프로브스테이션Probe station

제작사
(주)엠에스테크
모델명
MB13M
시설장비활용번호
고정자산관리번호 : EQICC51426060002-2
장비 일련번호
MB13M-VTR_260527
활용범위
공동활동 허용 가능
활용대상
기관외부활용
예약방법
예약의뢰
이용방법
직접사용+대여

예약신청 찜0

장비이용공지안내

장비 이용 안내	[ Probe Station 단품 이용 ] Probe Station은 네트워크분석기 등 타 장비와의 연동 없이 단품으로도 예약 및 이용이 가능합니다. 단품 이용 시에도 시간당 7,000원의 사용료가 부과됩니다. 네트워크분석기 등과 함께 이용하실 경우, 각 장비를 별도로 예약하셔야 합니다. [ 사용자 필수 지참 항목 ] 프로브 팁(Probe Tip) 및 교정 유닛(Calibration Unit)은 센터에서 제공하지 않습니다. 사용자가 시험 목적에 맞는 프로브 팁 및 교정 유닛을 직접 구비하여 방문하셔야 합니다. 미지참 시 측정이 불가하오니, 방문 전 반드시 준비 여부를 확인하시기 바랍니다.

장비 이용 안내

[ Probe Station 단품 이용 ]

Probe Station은 네트워크분석기 등 타 장비와의 연동 없이 단품으로도 예약 및 이용이 가능합니다.
단품 이용 시에도 시간당 7,000원의 사용료가 부과됩니다.
네트워크분석기 등과 함께 이용하실 경우, 각 장비를 별도로 예약하셔야 합니다.

[ 사용자 필수 지참 항목 ]

프로브 팁(Probe Tip) 및 교정 유닛(Calibration Unit)은 센터에서 제공하지 않습니다.
사용자가 시험 목적에 맞는 프로브 팁 및 교정 유닛을 직접 구비하여 방문하셔야 합니다.
미지참 시 측정이 불가하오니, 방문 전 반드시 준비 여부를 확인하시기 바랍니다.

인증/시험 안내	본 장비는 인증시험 지원이 불가능합니다. (단순 테스트 및 연구 용도로만 이용 가능)

이용문의에 관한 테이블입니다.
문의기관	대전테크노파크 우주·양자산업센터	담당자명
문의처	042-930-4335	장비활용중개소	자체등록
이용료 안내	[ Probe Station 단품 이용 ] Probe Station은 네트워크분석기 등 타 장비와의 연동 없이 단품으로도 예약 및 이용이 가능합니다. 단품 이용 시에도 시간당 7,000원의 사용료가 부과됩니다. 네트워크분석기 등과 함께 이용하실 경우, 각 장비를 별도로 예약하셔야 합니다. [ 사용자 필수 지참 항목 ] 프로브 팁(Probe Tip) 및 교정 유닛(Calibration Unit)은 센터에서 제공하지 않습니다. 사용자가 시험 목적에 맞는 프로브 팁 및 교정 유닛을 직접 구비하여 방문하셔야 합니다. 미지참 시 측정이 불가하오니, 방문 전 반드시 준비 여부를 확인하시기 바랍니다.	이용 방법	이메일 문의 (poong7@djtp.or.kr)

제작자 모델 정보

제작자 모델 정보에 관한 테이블입니다.
표준분류	기계가공/시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션	제작사/국가	(주)엠에스테크/대한민국
모델명	MB13M	사용용도	분석용
취득일	2026-06-10	보유기관명	대전테크노파크 우주·양자산업센터
설치장소	대전 유성구 테크노9로 35 무선통신융합지원센터 Y 1 108 위치보기
지역구	유성구

장비 설명

장비 설명에 관한 테이블입니다.
사용/활용예	패키징 전 RF 반도체 칩(MMIC, GaAs/GaN 소자 등)의 웨이퍼를 스테이지에 올려 프로브 팁을 직접 접촉시킨 후, ZNA67 네트워크분석기와 연동하여 S11·S21 등 S-파라미터를 측정하거나, ZC90·ZC140 컨버터를 추가 연결해 60~140GHz mmWave 대역까지 확장하여 고주파 특성을 평가할 수 있습니다. 또한 신호분석기(FSW26)와 연동하면 칩 출력단의 스펙트럼·위상잡음·EVM 등을 웨이퍼 레벨에서 직접 측정하는 데도 활용됩니다.
장비설명	Probe Station(MB13M)은 패키징 전 단계의 반도체 칩·웨이퍼를 별도의 패키징 없이 프로브 팁을 직접 접촉시켜 전기적 특성을 측정하는 온웨이퍼(On-wafer) 측정 전용 장비입니다. DC부터 110GHz 이상의 광대역 주파수 대역을 지원하는 구조로 설계되어, 센터 보유 네트워크분석기(ZNA67, ZNA50 등), 신호분석기(FSW26 등), 신호발생기(SMW200A 등)와 연동하면 RF·마이크로웨이브·mmWave 대역에 걸친 칩 수준의 정밀 시험이 가능합니다. 반도체 소자의 개발·검증 단계에서 웨이퍼 상태 그대로 고주파 특성을 평가할 수 있어, 위성통신용 MMIC, RF 반도체 부품 등의 연구개발에 핵심적으로 활용됩니다.
구성 및 기능	＊스테이션 본체 (MB13M) - DC~110GHz 이상 대응 구조의 스테이션 바디 - X/Y 이동 범위 100mm×100mm 이상의 정밀 스테이지 ＊정밀 조작 및 진동 차단 - 마이크로미터 레벨 리드가이드 조작기로 프로브 위치 정밀 제어 - 저소음 에어 컴프레셔 연동 방진(댐핑) 구조로 외부 진동 영향 최소화 ＊광학계 - 4K CCD 카메라(300배율 줌) 탑재 - 15인치 전용 모니터로 프로브 접촉 상태 실시간 확인 ＊연동 가능 장비 예시 (센터 보유) ① 벡터 네트워크분석기 \| ZNA67 \| 10MHz~67GHz 측정 항목: S-파라미터, 삽입손실, 반사손실 ② 벡터 네트워크분석기 + 컨버터 \| ZNA67 + ZC90/ZC140 \| 최대 140GHz 측정 항목: mmWave 대역 고주파 특성 ③ 신호·스펙트럼분석기 \| FSW26 \| 2Hz~26.5GHz 측정 항목: 스펙트럼, EVM, 위상잡음 ④ 벡터 신호발생기 \| SMW200A \| 100kHz~20GHz 측정 항목: 입력 신호 인가 및 응답 측정

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