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장비상세정보

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미세공정 RF부품 mmWave 네트워크 분석기Rohde & Schwarz(ZNA67)
  • 제작사Rohde & Schwarz
  • 모델명ZNA67
  • 시설장비활용번호 고정자산관리번호 : EQICC51426060002-1
  • 장비 일련번호 101276
  • 활용범위 공동활동 허용 가능
  • 활용대상 기관외부활용
  • 예약방법 예약의뢰
  • 이용방법 직접사용+대여
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장비이용공지

장비 이용 안내 
외부 기관 및 업체에서 장비를 센터 외부로 반출하여 이용하실 경우, 장비 사용료의 45%를 할인해 드립니다. 렌탈 이용을 희망하시는 경우, 담당 부서로 문의해 주시기 바랍니다.

[ 컨버터 모듈 ]

ZC90, ZC140 컨버터 모듈 이용 시 본품 사용료에 더해 시간당 7,000원의 추가비용이 발생합니다.

[ Probe Station ]

Probe Station(MB13M)은 네트워크분석기(ZNA67)와 별도로 장비 예약을 따로 진행하셔야 합니다.
Probe Station 이용 시 시간당 7,000원의 사용료가 별도 부과됩니다.
프로브 팁(Probe Tip) 및 교정 유닛(Calibration Unit)은 센터에서 제공하지 않습니다. 사용자가 직접 지참하여야 하며, 미지참 시 측정이 불가할 수 있으니 사전에 반드시 준비하시기 바랍니다.

인증/시험 안내

인증/시험 안내 
본 장비는 인증시험 지원이 불가능합니다. (단순 테스트 및 연구 용도로만 이용 가능)

이용문의

이용문의에 관한 테이블입니다.
문의기관 대전테크노파크 우주·양자산업센터 담당자명 -
문의처 042-930-4335 장비활용중개소 자체등록
이용료 안내 시간당 17,000원 (VAT 별도) / 외부 기관 및 업체에서 장비를 센터 외부로 반출하여 이용하실 경우, 장비 사용료의 45%를 할인해 드립니다. 렌탈 이용을 희망하시는 경우, 담당 부서로 문의해 주시기 바랍니다. [ 컨버터 모듈 ] ZC90, ZC140 컨버터 모듈 이용 시 본품 사용료에 더해 시간당 7,000원의 추가비용이 발생합니다. [ Probe Station ] Probe Station(MB13M)은 네트워크분석기(ZNA67)와 별도로 장비 예약을 따로 진행하셔야 합니다. Probe Station 이용 시 시간당 7,000원의 사용료가 별도 부과됩니다. 프로브 팁(Probe Tip) 및 교정 유닛(Calibration Unit)은 센터에서 제공하지 않습니다. 사용자가 직접 지참하여야 하며, 미지참 시 측정이 불가할 수 있으니 사전에 반드시 준비하시기 바랍니다.
이용 방법

제작자 모델 정보

제작자 모델 정보에 관한 테이블입니다.
표준분류 전기/전자장비     >     분석장비     >     벡터네트워크분석기 제작사/국가 Rohde & Schwarz/독일
모델명 ZNA67 사용용도 분석용
취득일 2026-06-10 보유기관명 대전테크노파크 우주·양자산업센터
설치장소 대전 유성구 테크노9로 35 무선통신융합지원센터 Y 1 107 위치보기
지역구 유성구

장비 설명

장비설명에 관한 테이블입니다.
사용/활용예 ZNA67 본품 단독으로는 67GHz 이하 RF/마이크로웨이브 부품의 S-파라미터 측정에 활용되며, ZC90·ZC140 컨버터를 추가 연결하면 미세공정 RF 부품이나 mmWave 안테나·모듈의 90GHz, 140GHz 대역 고주파 특성(삽입손실, 반사손실 등)까지 측정 범위를 확장하여 시험할 수 있습니다. 여기에 Probe Station을 함께 연결하면 패키징 전 단계의 RF 반도체 칩이나 MMIC 웨이퍼를 직접 프로빙하여 온웨이퍼 상태에서 mmWave 대역 특성을 평가하는 시험에도 활용할 수 있습니다.
장비설명 ZNA67은 10MHz~67GHz 대역을 지원하는 2포트 벡터 네트워크 분석기(VNA) 본품이며, ZC90(60~90GHz)·ZC140(90~140GHz) 주파수 컨버터를 연결하면 측정 주파수를 mmWave 영역까지 확장할 수 있는 시스템입니다. ZCPS는 컨버터 구동에 필수적인 전용 전원공급 모듈로, 컨버터 사용 시 함께 구성되어야 합니다. 또한 110GHz 이상 대역을 지원하는 Probe Station(MB13M)과 연결하여 웨이퍼/칩 단위의 온웨이퍼(On-wafer) 측정 시스템으로 함께 운용할 수 있습니다.
구성 및 기능 ＊ ZNA67 (본품)

- 2포트, 10MHz~67GHz, 1.85mm 커넥터
- mmWave 컨버터 연동용 LO 후면 출력 포트(ZNB-B8)
- Direct IF Access 하드웨어 구성(ZNA-B26)
- 시간영역 분석(TDR/TDT) 소프트웨어(ZNA-K2)
- mmWave 컨버터 제어 소프트웨어(ZNA-K8)

＊ ZC90 (60~90GHz 주파수 컨버터)

- WR12 도파관 기반 60~90GHz 대역 변환, 2개 1조 구성

＊ZC140 (90~140GHz 주파수 컨버터)

- WM-2032 도파관 기반 90~140GHz 대역 변환, 2개 1조 구성
- ZC90과 동일하게 공통 액세서리(ZCPS 등) 필수 사용

＊ ZCPS (컨버터 전원 모듈)

- ZC90, ZC140 등 컨버터 구동을 위한 필수 전원공급 모듈(컨버터 단독 구동 불가)

＊Probe Station (MB13M, 연동 장비)

- ~110GHz 이상 대응 구조의 스테이션 바디
- X/Y 이동 범위 100mm×100mm 이상의 정밀 스테이지
- 마이크로미터 레벨 리드가이드 조작기, 저소음 에어 컴프레셔 연동 댐핑
- 4K CCD 카메라(300배율 줌) 및 15인치 전용 모니터 탑재
- ZNA67(+ 컨버터)와 RF 케이블로 연결해 칩/웨이퍼 단위 프로브 접촉 측정 가능